Jako wiodący dostawca wyposażenia technologicznego dla produkcji HBLED, Oxford Instruments od lat jest znaczącą częścią tej gałęzi przemysłu. Jednym z popularnych zastosować diod UV jest chociażby ich wykorzystywanie w produkcji systemów oczyszczania wody, pracujących zwłaszcza w miejscach odległych, o utrudnionej dostępności do wody pitnej.

oxford

Narzędzie Oxford Instruments PlasmaPro1000 PECVD służy do osadzania wysokiej jakości dielektryków niezbędnych do wytwarzania diod UV. Jakość warstwy, wielkość partii, którą może pomieścić a co za tym idzie finalna wydajność sprawiają, że jest idealnym narzędziem ułatwiającym pracę nad tą najnowszą technologią. Systemy PlasmaPro1000PECVD są idealne do produkcji diod UV, gdyż dają możliwość wytwarzania relatywnie grubych warstw pasywacyjnych, których diody UV LED potrzebują do pracy. System wytwarza najwyższej jakości powłoki i jest jednocześnie urządzeniem gwarantującym niskie koszty eksploatacyjne. Wielkość partii zawierająca do 14 płytek 4” jest możliwa dzięki nowatorskiej konstrukcji komory, która zapewnia osiągnięcie takich samych, wysokich jakości powłok na wszystkich preparatach wchodzących w skład partii. Zaawansowana technologia urządzenia zapewnia szybkie czyszczenie komory przy użyciu plazmy, które jest automatycznie kontrolowane przez optyczną spektroskopię emisyjną (OES). Funkcjonalność ta determinuje maksymalną wydajność przy skróconym czasie pracy z systemem.