KLA Tencor

Profilometry stykowe

Profilometry stykowe

Profilometr jest urządzeniem pomiarowym służącym do pomiaru parametrów chropowatości i falistości powierzchni. Dzięki zastosowaniu odpowiedniego systemu optyki w profilometrach stykowych firmy Tencor możliwa jest:

  • Rozdzielczość pionowa poniżej 1 Å przy dobrej powtarzalności i kroku pomiarowym do 5 nm
  • Szybka reakcja na zmiany topografii
  • Siły do 0,03 mg do pomiaru miękkich powierzchni
  • Możliwość pomiaru dużej wysokości skoku z wykorzystaniem zakresu pomiarowego w osi Z do 1200 μm

D-500

Profilometr stykowy Alpha-Step D-500 może mierzyć wysokość stopnia 2D od kilku nanometrów do 1200 µm. D-500 daje również możliwość wykonywania pomiarów chropowatości i naprężeń w zastosowaniach badawczo-rozwojowych i produkcyjnych. D-500 posiada manualny 140 mm stolik i zaawansowaną optykę z ulepszonymi obrazami wideo.

Zaletą profilometrów stykowych jest pomiar bezpośredni, niezależny od właściwości materiału. Regulowana siła i wybór igły umożliwiają dokładne pomiary różnorodnych struktur i materiałów. Umożliwia to analizę procesu w celu ustalenia ilości dodanego lub usuniętego materiału, a także wszelkich zmian w strukturze poprzez pomiar chropowatości i naprężeń.

Funkcje profilometru D-500:

  • Wysokość kroku: od kilku nanometrów do 1200 µm
  • Niska siła nacisku: od 0,03 do 15 mg
  • Wideo: kolorowy aparat o rozdzielczości 5 MP
  • Korekcja trapezowa: usuwa zniekształcenia spowodowane optyką
  • Korekcja łuku: usuwa błąd spowodowany ruchem ostrza
  • Kompaktowy rozmiar
  • Oprogramowanie: przyjazny dla użytkownika interfejs oprogramowania

                       

                                         Standardowa optyka                                  Obraz po korekcji trapezowej

Aplikacje:

  • Wysokość stopnia: pomiar wysokości stopnia 2D
  • Tekstura: pomiar chropowatości 2D i falistości
  • Naprężenie: naprężenie cienkowarstwowe 2D

Pomiary wysokości stopnia (wysokość 8,5 nm)

Pomiar głębokości bruzdy (59,4 mm)

Zastosowania:

  • Półprzewodniki
  • LED: diody elektroluminescencyjne
  • Panele słoneczne
  • MEMS: systemy mikroelektromechaniczne
  • Automotive
  • Urządzenia medyczne

D-600

Profilometr stykowy Alpha-Step D-600 może mierzyć wysokości stopnia w 2D i 3D od kilku nanometrów do 1200 µm. D-600 obsługuje również pomiary chropowatości 2D i 3D, a także pomiary łuku 2D i naprężeń w badaniach i rozwoju oraz środowiskach produkcyjnych. D-600 zawiera zmotoryzowany stolik z uchwytem o średnicy 200 mm i zaawansowaną optykę z ulepszonymi kontrolami wideo.

Aplikacje:

  • Wysokość skoku: 2D i 3D
  • Tekstura: chropowatość i falistość 2D i 3D
  • Naprężenia: naprężenia cienkowarstwowe 2D

Obraz z wysokorozdzielczej kolorowej kamery 5 MP

Uproszczona konfiguracja przepisu sekwencji

Wysokość stopnia na wzorzystym szkle

Skan 3×1,4 mm przy maksymalnej wysokości stopnia 117 μm

Tekstura powierzchni 3D

Skanowanie 1×1 mm z chropowatością 4,8 μm (Sq)

Dodatkowe opcje

Igły

Alpha-Step D-600 oferuje różnorodne igły pomiarowe do pomiaru wysokości stopni, powierzchni o wysokim współczynniku kształtu, chropowatości i naprężeń. Promień końcówki wynosi od 100 nm do 50 µm i określa poziomą rozdzielczość pomiaru. Kąt mieści się w zakresie od 20 do 100 stopni, które określają maksymalny współczynnik kształtu mierzonego obiektu. Wszystkie trzpienie są produkowane z diamentu, aby zmniejszyć zużycie i wydłużyć żywotność igły.

Standardy wysokości stopnia

Alpha-Step D-600 wykorzystuje cienkie i grube folie NIST, możliwe do wyśledzenia standardy wysokości stopnia oferowane przez VLSI. Zestaw zawiera stopnie tlenkowe na silikonowej matrycy zamontowanej na bloku kwarcowym. Dostępny jest zakres wysokości stopnia od 8 nm do 250 µm.

Uchwyty na próbki

Alpha-Step D-600 oferuje szereg uchwytów do obsługi różnych aplikacji. Standardowym uchwytem jest pokryty niklem aluminiowy uchwyt próżniowy do próbek do 200 mm. Oferowany jest również uniwersalny uchwyt próżniowy, który posiada precyzyjne piny ustalające dla próbek od 50 mm do 200 mm. Obie opcje obsługują pomiary naprężeń za pomocą 3-punktowych lokalizatorów, które utrzymują próbkę w pozycji neutralnej w celu dokładnych pomiarów łuku.

Oprogramowanie do analizy Apex

Oprogramowanie Apex zwiększa standardowe możliwości analizy danych w D-600 dzięki rozszerzonemu pakietowi technik poziomowania, filtrowania, wysokości stopnia, chropowatości i analizy topografii powierzchni. Apex obsługuje metody obliczania chropowatości zgodnie z ISO oraz innymi standardami takimi jak: ASME. Apex może także służyć jako platforma do tworzenia raportów z możliwością dodawania tekstu, adnotacji oraz kryteriów akceptacji/odrzucania. Apex jest oferowany w ośmiu językach.

Oprogramowanie do analizy offline

Oprogramowanie offline Alpha-Step D-600 ma tę samą funkcję analizy danych, co narzędzie. Umożliwia to użytkownikowi analizowanie danych bez zajmowania urządzenia pomiarowego.

Porównanie profilometrów stykowych D-500 i D-600

Specyfikacja stolika:

 

D-500

D-600

Typ stolika

manualny

zmotoryzowany

Średnica stolika

140 mm

200 mm

Zakres ruchu w kierunkach X i Y

80 i 20 mm

150 i 178 mm

Kąt theta

360°

360

Maksymalna długość skanowania

30 mm

55 mm

Szybkość skanowania

10-400 mm/s

10-400 mm/s

Grubość próbki

20 mm

30 mm

 

Specyfikacja pomiarów:

 

D-500

D-600

Powtarzalność

5,0 Å lub 0,1 %

50 Å lub 0,1 %

Zakres w osi Z

1200 mm

1200 mm

Rozdzielczość pionowa

0,38 Å

0,38 Å

Siła nacisku igły

0,03 – 15 mg

0,03 – 15 mg

Szybkość skanowania

2000 Hz

2000 Hz

Maksymalna liczba punktów na skan

120000

120000

Rozdzielczość pozioma

100 nm

100 nm

Specyfikacja optyki:

 

D-500

D-600

Obrazowanie 3D

Opcjonalnie

Sekwencjonowanie

Opcjonalnie

Wideo

Korekcja trapezowa

Korekcja trapezowa

 

Potrzebujesz informacji?

Zostaw swój kontakt, odezwiemy się

Technolutions sp. z o. o.

Otolice 38

99-400 Łowicz

 

 

tel.: +48 606 440 718

e-mail: kontakt@technolutions.pl

Technolutions 2020 © wszelkie prawa zastrzeżone