Wizualizacja powierzchni i struktury

D-600

Profilometr stykowy Alpha-Step D-600 może mierzyć wysokości stopnia w 2D i 3D od kilku nanometrów do 1200 µm. D-600 obsługuje również pomiary chropowatości 2D i 3D, a także pomiary łuku 2D i naprężeń w badaniach i rozwoju oraz środowiskach produkcyjnych. D-600 zawiera zmotoryzowany stolik z uchwytem o średnicy 200 mm i zaawansowaną optykę z ulepszonymi kontrolami wideo.

Aplikacje:

• Wysokość skoku: 2D i 3D
• Tekstura: chropowatość i falistość 2D i 3D
• Naprężenia: naprężenia cienkowarstwowe 2D

Obraz z wysokorozdzielczej kolorowej kamery 5 MP

Uproszczona konfiguracja przepisu sekwencji

Wysokość stopnia na wzorzystym szkle
Skan 3×1,4 mm przy maksymalnej wysokości stopnia 117 μm

Tekstura powierzchni 3D
Skanowanie 1×1 mm z chropowatością 4,8 μm (Sq)

DODATKOWE OPCJE

Igły

Alpha-Step D-600 oferuje różnorodne igły pomiarowe do pomiaru wysokości stopni, powierzchni o wysokim współczynniku kształtu, chropowatości i naprężeń. Promień końcówki wynosi od 100 nm do 50 µm i określa poziomą rozdzielczość pomiaru. Kąt mieści się w zakresie od 20 do 100 stopni, które określają maksymalny współczynnik kształtu mierzonego obiektu. Wszystkie trzpienie są produkowane z diamentu, aby zmniejszyć zużycie i wydłużyć żywotność igły.

Standardy wysokości stopnia

Alpha-Step D-600 wykorzystuje cienkie i grube folie NIST, możliwe do wyśledzenia standardy wysokości stopnia oferowane przez VLSI. Zestaw zawiera stopnie tlenkowe na silikonowej matrycy zamontowanej na bloku kwarcowym. Dostępny jest zakres wysokości stopnia od 8 nm do 250 µm.

Uchwyty na próbki

Alpha-Step D-600 oferuje szereg uchwytów do obsługi różnych aplikacji. Standardowym uchwytem jest pokryty niklem aluminiowy uchwyt próżniowy do próbek do 200 mm. Oferowany jest również uniwersalny uchwyt próżniowy, który posiada precyzyjne piny ustalające dla próbek od 50 mm do 200 mm. Obie opcje obsługują pomiary naprężeń za pomocą 3-punktowych lokalizatorów, które utrzymują próbkę w pozycji neutralnej w celu dokładnych pomiarów łuku.

Oprogramowanie do analizy Apex

Oprogramowanie Apex zwiększa standardowe możliwości analizy danych w D-600 dzięki rozszerzonemu pakietowi technik poziomowania, filtrowania, wysokości stopnia, chropowatości i analizy topografii powierzchni. Apex obsługuje metody obliczania chropowatości zgodnie z ISO oraz innymi standardami takimi jak: ASME. Apex może także służyć jako platforma do tworzenia raportów z możliwością dodawania tekstu, adnotacji oraz kryteriów akceptacji/odrzucania. Apex jest oferowany w ośmiu językach.

Oprogramowanie do analizy offline

Oprogramowanie offline Alpha-Step D-600 ma tę samą funkcję analizy danych, co narzędzie. Umożliwia to użytkownikowi analizowanie danych bez zajmowania urządzenia pomiarowego.