Oxford Instruments

Ion Beam Deposition (IBD)

Technologia IBD pozwala na osadzanie cienkich warstw poprzez wykorzystanie szerokiej wiązki jonów dodatnich oraz systemu wysokiej próżni. Wiązka jonów uderza w obiekt z materiałem źródłowym rozpylając go. Ten następnie pokrywa substrat odpowiednio pochylony w kierunku źródła. Właściwości naniesionej powłoki zależą od  rodzaju materiału źródłowego, parametrów wiązki jonów (strumień, energia, itp.) jak również od odpowiedniego ustawienia wszystkich elementów biorących udział w procesie. Cały proces zachodzi pod odpowiednim ciśnieniem (w próżni).

78f18936150410695597811797810868564.12eb7ea652aeb91aec2cc00027bcdcea

Ionfab 300 IBD

Potrzebujesz informacji?

Zostaw swój kontakt, odezwiemy się
Ionfab 300 IBD

Nasze produkty do osadzania wiązką jonową są wybierane ze względu na ich zdolność do wytwarzania powłok o wysokiej jakości, gęstych i gładkich powierzchniach. Technologia Ion Beam zapewnia wyjątkowo wszechstronne podejście do wytrawiania i osadzania, oferując jedno narzędzie i maksymalizując wykorzystanie systemu. Nasze systemy mają elastyczne opcje sprzętowe, w tym otwarte ładowanie, blokadę ładowania pojedynczego podłoża, a także kasety do załadunku większej ilości podłoży. Specyfikacja systemu jest ściśle dostosowana do konkretnej aplikacji, umożliwiając szybsze i powtarzalne wyniki procesu.

Główne cechy urządzenia:

  • Funkcja wielu trybów,
  • Zdolność do grupowania z innymi narzędziami do wytrawiania plazmowego i osadzania,
  • Możliwość zastosowania konfiguracji z podwójną wiązką jonów,
  • Bardzo niska chropowatość powierzchni,
  • Niezrównana jednorodność partii i odtwarzalność procesu,
  • Dokładne wykrywanie punktu końcowego – SIMS.

Aplikacje

W budowie

Technolutions sp. z o. o.

Otolice 38

99-400 Łowicz

 

 

tel.: +48 606 440 718

e-mail: kontakt@technolutions.pl

Technolutions 2020 © wszelkie prawa zastrzeżone

Zapraszamy na darmowe webinaria