Oxford Instruments

Deep Reactive Ion Etching

Deep Reactive Ion Etching

Głębokie trawienie jonami reaktywnymi DRIE (ang. Deep Reactive Ion Etching) jest wysoce anizotropowym procesem trawienia wykorzystywanym do dużych szybkości trawienia, stromych otworów i rowów w płytkach, zwykle o wysokim współczynniku kształtu. Zostało ono opracowane dla systemów mikroelektromechanicznych (MEMS) i kondensatorów o wysokiej gęstości DRAM. Technologia DRIE była w dużej mierze odpowiedzialna za umożliwienie demonstracji technologii na skalę laboratoryjną, aby stały się produkowalnymi i dochodowymi produktami konsumenckimi. Ponieważ aplikacje korzystające z technologii DRIE stale się rozwijają i ewoluują, pojawiają się nowe wymagania i otwierają ekscytujące możliwości rozwoju DRIE.

Istnieją dwie główne technologie wysokowydajnego DRIE: kriogeniczny i Bosch, chociaż proces Bosch jest jedyną szeroko stosowaną techniką produkcji. Zarówno procesy Bosch, jak i krio mogą wytwarzać ściany 90°, ale często także ściany lekko zwężone, np. 88° lub 92°.

4eb0194d15041011288179163081030551.5e43060b4cd151eabfc32e30372676ef

PlasmaPro 100 Estrelas

Potrzebujesz informacji?

Zostaw swój kontakt, odezwiemy się
PlasmaPro 100 Estrelas

Platforma PlasmaPro 100 Estrelas została zaprojektowana w celu zapewnienia całkowitej elastyczności dla aplikacji Deep Silicon Etch (DSiE) – obsługując różnorodny zestaw wymagań procesowych na rynkach systemów mikroelektromechanicznych (MEMS), zaawansowanych opakowań i nanotechnologii. PlasmaPro 100 Estrelas opracowano z myślą zarówno o rynku badań, jak i produkcji. Urządzenie to oferuje najwyższą elastyczność procesu.

Główne cechy urządzenia:

  • Szeroki zakres zastosowań,
  • Mocowanie mechaniczne lub elektrostatyczne,
  • Podgrzewane wkładki,
  • Poprawiona odtwarzalność,
  • Wydłużony średni czas między czyszczeniami (MTBC).

Aplikacje

W budowie

Technolutions sp. z o. o.

Otolice 38

99-400 Łowicz

 

 

tel.: +48 606 440 718

e-mail: kontakt@technolutions.pl

Technolutions 2020 © wszelkie prawa zastrzeżone

Zapraszamy na darmowe webinaria