Oxford Instruments

Chemical Vapour Deposition (CVD)

Chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD)

Chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD) jest szeroko stosowaną techniką osadzania powłok o różnym składzie i grubości.Do pomiaru mikrotwardości powierzchnie badanego metalu musi być starannie przygotowana; szlifowana na papierach o ziarnistości minimum 600, polerowana, a w przypadku badania składników strukturalnych również wytrawiona.

CECHY CHARAKTERYSTYCZNE URZĄDZEŃ CVD OXFORD INSTRUMENTS:​
    • Powłoka osadzana jest bezpośrednio na elektrodzie, która może być podgrzewana do około 1200˚C,
    • Gaz wtryskiwany do komory procesowej przez wlot gazu przez „głowicę prysznicową” w górnej elektrodzie,
    • System dostarczania prekursorów ciał stałych / płynów do nowatorskich procesów, takich jak materiały 2D MOCVD, nanodruty ZnO itp.,
    • Automatyczna blokada obciążenia, aby przenieść próbkę bezpośrednio na gorący stół i zaoszczędzić czas na ogrzewaniu i chłodzeniu,
    • Opcje zwiększania plazmy do osadzania w niższej temperaturze lub wspomaganej plazmą konwersji lub funkcjonalizacji, a także czyszczenia komory,
    • Możliwy szeroki zakres procesów w tej samej komorze.
PP100-MMX-Cluster_LR.9733eb42f5cfeac697ae037b9ad6bb17

NANOFAB

Potrzebujesz informacji?

Zostaw swój kontakt, odezwiemy się
Nanofab

Nanofab jest narzędziem dedykowanym do osadzania CVD / PECVD nanomateriałów 1D, 2D i heterostruktur. Nanofab zapewnia wysoką wydajność wzrostu nanomateriałów z aktywacją katalizatora in situ i rygorystyczną kontrolą procesu.

Cechy charakterystyczne urządzenia:

  • Doskonała jednorodność osadzanych powłok przy temperaturach do 1200 °C (700 °C, 800 °C lub 1200 °C),
  • Wielkość próbki do 200 mm,
  • Blokada załadunku – szybka wymiana próbek,
  • Specjalna konstrukcja zimnej ściany z równomiernym dostarczaniem prekursora,
  • Opcjonalny system dostarczania źródła ciecz / ciało stałe do wzrostu MoS2, MoSe2 i innych.

Potrzebujesz informacji?

Zostaw swój kontakt, odezwiemy się

Aplikacje

W budowie

Technolutions sp. z o. o.

Otolice 38

99-400 Łowicz

 

 

tel.: +48 606 440 718

e-mail: kontakt@technolutions.pl

Technolutions 2020 © wszelkie prawa zastrzeżone

Zapraszamy na darmowe webinaria