Urządzenia Filmetrics wykorzystują odbicie światła od cienkiej warstwy, a następnie analizują to światło w pewnym zakresie długości fal.

Zarówno elipsometry jak i reflektometry analizują światło odbite w celu określenia grubości i wyznaczenia współczynnika załamania światła przez dielektryki, półprzewodniki i cienkie warstwy metali. Podstawową różnicą pomiędzy tymi dwoma technikami jest to, że elipsometry wykorzystują światło odbite od warstwy pod małym kątem padania, natomiast reflektometry światło, które odbija się prostopadle do warstwy.

Różnica w kącie padania światła prowadzi do różnic w kosztach, złożoności i możliwości tych dwóch technik. Ponieważ światło elipsometru padają pod kątem, polaryzacja światła odbitego musi zostać przeanalizowana,
podobnie jego intensywność, co daje większe możliwości pomiaru bardzo cienkich i skomplikowanych warstw jak również złożonych warstw. Analiza polaryzacji oznacza również, że niezbędne są drogie, precyzyjnie ruchome elementy optyczne.

Za pomocą światła, które jest prostopadłe do warstwy, reflektometria może ignorować efekty polaryzacyjnye. Tak więc, reflektometr nie musi posiadać elementów ruchomych, a więc kontrukcja urządzeń jest prostsza, ia co z tym związane koszty urządzeń są niższe. być zrealizowane bez ruchomych części, co powoduje znacznie prostsze i instrumentów niższych kosztach. Systemy SR można także z łatwością obejmują analizę przepuszczalności dla jeszcze większej mocy.