FILMETRICS
Reflektometry
Menu
Reflektometry to urządzenia optyczne, które umożliwiają szybki i bezkontaktowy pomiar cienkich, transparentnych powłok oraz pozwala określić współczynnik załamania światła. Dzięki niemu można ustalić następujące właściwości powłok:
- grubość,
- współczynniki załamania i absorpcji (“n” i “k”),
- reflektancja ( procentowa ilość światła odbijanego ),
- transmitancja ( procentowa ilość światła przepuszczanego).
Potrzebujesz informacji?
Zostaw swój kontakt, odezwiemy się
F3-CS
- przenośny
- zasilany jedynie przez USB
- szybki pomiar reflektancji i/lub transmitancji (opcjonalnie grubości i współczynników załamania i absorpcji)
Zakres pomiaru grubości
F3-sX
- pomiary głownie w podczerwieni
- dedykowany do pomiarów półprzewodników
- nawet dla powłok o grubościach do 3mm
- pomiar grubości,reflektancji, transmitancji
Zakres pomiaru grubości
F10-RT
- pomiar reflektancji i transmitancji po jednym kliknięciu myszką (opcjonalnie grubości i współczynników załamania i absorpcji)
Zakres pomiaru grubości
F10-AR
- dedykowany do pomiarów powłok antyrefleksyjnych oraz typu hardcoat
- pomiar barwy powłoki
- szybki pomiar reflektancji i/lub transmitancji (opcjonalnie grubości)
Zakres pomiaru grubości
F20
- najbardziej uniwersalny system
- szereg opcjonalnych akcesoriów
- pomiar grubości,reflektancji, transmitancji, współczynników załamania i absorpcji
Zakres pomiaru grubości
F30
- pomiar ciągły (np. podczas procesu nanoszenia warstwy)
- pomiar prędkości osadzania, grubości i współczynników załamania i absorpcji
Zakres pomiaru grubości
F40
- integrowalny z mikroskopem świetlnym
- plamka pomiarowa min. 1um
- pomiar grubości,reflektancji,współczynników załamania i absorpcji
Zakres pomiaru grubości
F50
- automatyczny stolik pozwalający na mapowanie powierzchni nawet do 450mm średnicy
- pomiar grubości,reflektancji, współczynników załamania i absorpcji
Zakres pomiaru grubości
Aplikacje
W budowie
Reflektometry Filmetrics
Reflektometry Filmetrics w metodzie pomiarów wykorzystują światło odbite od warstwy, a następnie analizują je w pewnym zakresie długości fal. Poniżej przedstawiono również porównania reflektometrii z technikami takimi jak elipsometria i profilometria.
Reflektometry filmetrics
Różnica w kącie padania światła prowadzi do różnic w kosztach, złożoności i możliwości tych dwóch technik. Ponieważ światło elipsometru padają pod kątem, polaryzacja światła odbitego musi zostać przeanalizowana,
podobnie jego intensywność, co daje większe możliwości pomiaru bardzo cienkich i skomplikowanych warstw jak również złożonych warstw. Analiza polaryzacji oznacza również, że niezbędne są drogie, precyzyjnie ruchome elementy optyczne.
Za pomocą światła, które jest prostopadłe do warstwy, reflektometria może ignorować efekty polaryzacyjne. Reflektometr nie musi posiadać elementów ruchomych, a więc konstrukcja urządzeń jest prostsza, a co z tym związane koszty urządzeń są niższe. Systemy SR umożliwiają analizę przepuszczalności dla jeszcze większej mocy.
Pomiar współczynnika załamania światła
Współczynnik załamania światła odnosi się do prędkości z jaką rozchodzi się promień w danym ośrodku. Wskazuje kąt pod jakim promień światła przechodzi z jednego środowiska, do drugiego, a które różnią się między sobą, na przykład powietrze i woda. Jest to najważniejszy i wyjściowy parametr systemów optycznych, na którego podstawie określa się dalsze cechy, takie jak moc optyczna soczewki lub dyspersja pryzmatu. Pomiaru współczynnika załamania światła dokonuje się na podstawie prawa Snelliusa, które mówi, że współczynnik ten zależny jest od kąta padania i kąta załamania światła.
Reflektometry a inne techniki pomiaru grubości warstw (powłok)
| Reflektometria | Elipsometria | |
| Zakres mierzonych grubości: |
1nm – 1mm (niemetale) 0.5nm – 50nm (metale) |
0.1nm – 0.01mm (niemetale) 0.1nm – 50nm (metale) |
| Wymagana grubość dla pomiaru współczynnika: |
>20nm (niemetale) 5nm – 50nm (metale) |
>5nm ( niemetale ) >0.5nm ( metale ) |
| Prędkość pomiaru: | ~0.1 – 5 sekund na lokalizację | ~1 – 300 sekund na lokalizację |
| Special Training: | Nie | Wymagany dla specjalnych aplikacji |
| Ruchome części: | Nie | Precyzyjna optyka |
| Cena podstawowego urządzenia: | ~75 tys. zł | ~300 tys. zł |
Profilometria mechaniczna jest łatwą do zrozumienia techniką do pomiaru grubości powłok. Jej działanie polega na monitorowaniu wysokość rysika wzdłuż warstwy. Podstawową zaletą profilometrii mechanicznej jest fakt, że może ona być stosowana w przypadku wszystkich stałych warstw, na przykład takich jak grube warstwy metalowe.
Metoda ta nie jest pozbawiona wad. Najważniejsza to taka, że błędy kalibracji i dryftu mechanicznego, często mogą prowadzić do znacznych błędów w mierzonej grubości.
W przeciwieństwie do profilometrii mechanicznej, reflektometria jest techniką bezkontaktową, która nie wymaga przygotowania próbki do pomiaru grubości. Światło, które odbija się od warstwy badane jest w około jedną sekundę, określana jest zarówno grubość warstwy, jak i współczynnik załamania. Technika ta pozwala na pomiary struktur wielowarstwowych.
| Reflektometria | Elipsometria | |
| Zakres mierzonych grubości : |
1nm – 3mm (niemetale) 0.5nm – 50nm (metale) |
2nm – 0.5mm (metale) |
| Pomiar wielu warstw: | Tak | Nie |
| Mierzony współczynnik załamania światła: | Tak | Nie |
| Powtarzalność (500nm SiO2): | 0.1nm | 0.5nm |
| Prędkość pomiaru : | <1 sek | ~5 – 30 sek |
| Wymagane przygotowanie próbki: | Nie | Tak |
| Ruchome części : | Nie | Tak |
| Cena podstawowego urządzenia : | ~75 tys. zł | ~300 tys. zł |