- pomiarów pojedynczych:
- pomiarów zautomatyzowanych:
- pomiary in situ:
Reflektometry w metodzie pomiarów wykorzystują światło odbite od warstwy, a następnie analizują światło odbite w pewnym zakresie długości fal. Poniżej przedstawiono również porównania reflektometrii z technikami takimi jak elipsometria i profilometria.
Urządzenia Filmetrics wykorzystują odbicie światła od cienkiej warstwy, a następnie analizują to światło w pewnym zakresie długości fal.
Zarówno elipsometry jak i reflektometry analizują światło odbite w celu określenia grubości i wyznaczenia współczynnika załamania światła przez dielektryki, półprzewodniki i cienkie warstwy metali. Podstawową różnicą pomiędzy tymi dwoma technikami jest to, że elipsometry wykorzystują światło odbite od warstwy pod małym kątem padania, natomiast reflektometry światło, które odbija się prostopadle do warstwy.
Różnica w kącie padania światła prowadzi do różnic w kosztach, złożoności i możliwości tych dwóch technik. Ponieważ światło elipsometru padają pod kątem, polaryzacja światła odbitego musi zostać przeanalizowana, podobnie jego intensywność, co daje większe możliwości pomiaru bardzo cienkich i skomplikowanych warstw jak również złożonych warstw. Analiza polaryzacji oznacza również, że niezbędne są drogie, precyzyjnie ruchome elementy optyczne.
Za pomocą światła, które jest prostopadłe do warstwy, reflektometria może ignorować efekty polaryzacyjnye. Tak więc, reflektometr nie musi posiadać elementów ruchomych, a więc kontrukcja urządzeń jest prostsza, ia co z tym związane koszty urządzeń są niższe. być zrealizowane bez ruchomych części, co powoduje znacznie prostsze i instrumentów niższych kosztach. Systemy SR można także z łatwością obejmują analizę przepuszczalności dla jeszcze większej mocy.
| Reflektometria | Elipsometria | |
| Zakres mierzonych grubości: | 1nm – 1mm (niemetale) 0.5nm – 50nm (metale) | 0.1nm – 0.01mm ( niemetale ) 0.1nm – 50nm ( metale ) |
| Wymagana grubość dla pomiaru współczynnika: | >20nm ( niemetale ) 5nm – 50nm ( metale ) | >5nm ( niemetale ) >0.5nm ( metale ) |
| Prędkość pomiaru: | ~0.1 – 5 sekund na lokalizację | ~1 – 300 sekund na lokalizację |
| Special Training: | Nie | Wymagany dla specjalnych aplikacji |
| Ruchome części: | Nie | Precyzyjna optyka |
| Cena podstawowego urządzenia: | ~65 tys. zł | ~200 tys. zł |
Profilometria mechaniczna jest łatwą do zrozumienia techniką do pomiaru grubości powłok. Jej działanie polega na monitorowaniu wysokość rysika, wzdłuż warstwy. Podstawową zaletą profilometrii mechanicznej, że może ona być stosowana w przypadku wszyskich stałych warstw, takich jak grube warstwy metalowe.
Istnieją jednak wady tej metody. Najważniejsza to taka, że błędy kalibracji i dryftu mechanicznego, często mogą prowadzić do znacznych błędów w mierzonej grubości.
W przeciwieństwie, reflektometria jest techniką bezkontaktową, która nie wymaga przygotowania próbki do pomiaru grubości. Światło, które odbija się od warstwy badane jest w około jedną sekundę, określana jest zarówno grubość warstwy jak i współczynnik załamania. Struktury wielowarstwowej mogą być również mierzone tą techniką.
| Reflektometria | Elipsometria | |
| Zakres mierzonych grubości : | 1nm – 3mm ( niemetale ) 0.5nm – 50nm ( metale ) | 2nm – 0.5mm ( metale ) |
| Pomiar wielu warstw: | Tak | Nie |
| Mierzony współczynnik załamania swiatła: | Tak | Nie |
| Powtarzalność (500nm SiO2): | 0.1nm | 0.5nm |
| Prędkość pomiaru : | <1 sek | ~5 – 30 sek |
| Wymagane przygotowanie próbki: | Nie | Tak |
| Ruchome części : | Nie | Tak |
| Cena podstawowego urządzenia : | ~50 tys. zł | ~200 tys. zł |