Reflektometry pozwalają na szybki, optyczny, bezkontaktowy pomiar cienkich, transparentnych powłok. Umożliwiają pomiar właściwości powłok takich jak:

  • grubość
  • współczynniki załamania i absorpcji (“n” i “k” )
  • reflektancja ( procentowa ilość światła odbijanego )
  • transmitancja ( procentowa ilość światła przepuszczanego )

Modele



F3-CS


  • przenośny
  • zasilany jedynie przez USB
  • szybki pomiar reflektancji i/lub transmitancji (opcjonalnie grubości i współczynników załamania i absorpcji)

Zakres pomiaru grubości


F3-sX


  • pomiary głownie w podczerwieni
  • dedykowany do pomiarów półprzewodników
  • nawet dla powłok o grubościach do 3mm
  • pomiar grubości,reflektancji, transmitancji

Zakres pomiaru grubości


F10-RT


  • pomiar reflektancji i transmitancji po jednym kliknięciu myszką (opcjonalnie grubości i współczynników załamania i absorpcji)

Zakres pomiaru grubości


F10-AR


  • dedykowany do pomiarów powłok antyrefleksyjnych oraz typu hardcoat
  • pomiar barwy powłoki
  • szybki pomiar reflektancji i/lub transmitancji (opcjonalnie grubości)

Zakres pomiaru grubości


F20


  • najbardziej uniwersalny system
  • szereg opcjonalnych akcesoriów
  • pomiar grubości,reflektancji, transmitancji, współczynników załamania i absorpcji

Zakres pomiaru grubości


F30


  • pomiar ciągły (np. podczas procesu nanoszenia warstwy)
  • pomiar prędkości osadzania, grubości i współczynników załamania i absorpcji

Zakres pomiaru grubości


F40


F40

  • integrowalny z mikroskopem świetlnym
  • plamka pomiarowa min. 1um
  • pomiar grubości,reflektancji,współczynników załamania i absorpcji

Zakres pomiaru grubości


  • automatyczny stolik pozwalający na mapowanie powierzchni nawet do 450mm średnicy
  • pomiar grubości,reflektancji, współczynników załamania i absorpcji

Zakres pomiaru grubości


Dodatkowe informacje


Reflektometry w metodzie pomiarów wykorzystują światło odbite od warstwy, a następnie analizują światło odbite w pewnym zakresie długości fal. Poniżej przedstawiono również porównania reflektometrii z technikami takimi jak elipsometria i profilometria.

Urządzenia Filmetrics wykorzystują odbicie światła od cienkiej warstwy, a następnie analizują to światło w pewnym zakresie długości fal.

odbicie światłaZarówno elipsometry jak i reflektometry analizują światło odbite w celu określenia grubości i wyznaczenia współczynnika załamania światła przez dielektryki, półprzewodniki i cienkie warstwy metali. Podstawową różnicą pomiędzy tymi dwoma technikami jest to, że elipsometry wykorzystują światło odbite od warstwy pod małym kątem padania, natomiast reflektometry światło, które odbija się prostopadle do warstwy.

Różnica w kącie padania światła prowadzi do różnic w kosztach, złożoności i możliwości tych dwóch technik. Ponieważ światło elipsometru padają pod kątem, polaryzacja światła odbitego musi zostać przeanalizowana,
podobnie jego intensywność, co daje większe możliwości pomiaru bardzo cienkich i skomplikowanych warstw jak również złożonych warstw. Analiza polaryzacji oznacza również, że niezbędne są drogie, precyzyjnie ruchome elementy optyczne.

Za pomocą światła, które jest prostopadłe do warstwy, reflektometria może ignorować efekty polaryzacyjnye. Tak więc, reflektometr nie musi posiadać elementów ruchomych, a więc kontrukcja urządzeń jest prostsza, ia co z tym związane koszty urządzeń są niższe. być zrealizowane bez ruchomych części, co powoduje znacznie prostsze i instrumentów niższych kosztach. Systemy SR można także z łatwością obejmują analizę przepuszczalności dla jeszcze większej mocy.

reflaktometria vs elipsometria

  Reflektometria Elipsometria
Zakres mierzonych grubości: 1nm – 1mm (niemetale)

 

0.5nm – 50nm (metale)

0.1nm – 0.01mm ( niemetale )

 

0.1nm – 50nm ( metale )

Wymagana grubość dla pomiaru współczynnika: >20nm ( niemetale )

 

5nm – 50nm ( metale )

>5nm ( niemetale )

 

>0.5nm ( metale )

Prędkość pomiaru: ~0.1 – 5 sekund na lokalizację ~1 – 300  sekund na lokalizację
Special Training: Nie Wymagany dla specjalnych aplikacji
Ruchome części: Nie Precyzyjna optyka
Cena podstawowego urządzenia: ~65 tys. zł ~200 tys. zł

Profilometria mechaniczna jest łatwą do zrozumienia techniką do pomiaru grubości powłok. Jej działanie polega na monitorowaniu wysokość rysika, wzdłuż warstwy. Podstawową zaletą profilometrii mechanicznej, że może ona być stosowana w przypadku wszyskich stałych warstw, takich jak grube warstwy metalowe.

Istnieją jednak wady tej metody. Najważniejsza to taka, że błędy kalibracji i dryftu mechanicznego, często mogą prowadzić do znacznych błędów w mierzonej grubości.

W przeciwieństwie, reflektometria jest techniką bezkontaktową, która nie wymaga przygotowania próbki do pomiaru grubości. Światło, które odbija się od warstwy badane jest w około jedną sekundę, określana jest zarówno grubość warstwy jak i współczynnik załamania. Struktury wielowarstwowej mogą być również mierzone tą techniką.

reflaktometria vs profilometria

  Reflektometria Elipsometria
Zakres mierzonych grubości : 1nm – 3mm ( niemetale )

 

0.5nm – 50nm ( metale )

2nm – 0.5mm ( metale )
Pomiar wielu warstw: Tak Nie
Mierzony współczynnik załamania swiatła: Tak Nie
Powtarzalność (500nm SiO2): 0.1nm 0.5nm
Prędkość pomiaru : <1 sek ~5 – 30 sek
Wymagane przygotowanie próbki: Nie Tak
Ruchome części : Nie Tak
Cena podstawowego urządzenia : ~65 tys. zł ~200 tys. zł