Oxford Instruments
Indictively Coupled Plasma Chemical Vapour Deposition (ICP CVD)
Menu
ICP CVD jest procesem osadzania cienkich filmów z fazy gazowej na podłożu ze wspomaganiem plazmowym. W porównaniu do klasycznego CVD termicznego, w tym przypadku katalizatorem reakcji jest plazma a nie temperatura. Poszerza to możliwości jeśli chodzi o materiały pokrywanych podłoży; jak również poprawia możliwości kontrolowania stechiometrii i czystości powierzchni
oraz wytwarzania warstw nierównowagowych. Proces ten składa się z reakcji chemicznych które występują po utworzeniu plazmy z gazów reakcyjnych. Plazma otrzymywana jest pod wpływem
przemiennego pola elektromagnetycznego wysokiej częstości przy odpowiednio niskim ciśnieniu.
Potrzebujesz informacji?
Zostaw swój kontakt, odezwiemy się
PlasmaPro 80 ICPCVD
PlasmaPro 80 to kompaktowy system zajmujący niewiele miejsca, a oferujący szerokie zastosowania w procesach trawienia i osadzania powłok. Dzięki specjalnej konstrukcji daje możliwość wygodnego załadunku płytek bez uszczerbku dla jakości procesu. Jest to idealne rozwiązanie do badań, prototypowania i produkcji małoseryjnej. PlasmaPro 80 ICPCVD umożliwia przeprowadzanie wydajnych procesów z wykorzystaniem zoptymalizowanego chłodzenia elektrod i doskonałej kontroli temperatury podłoża.
Główne cechy urządzenia:
- Otwarta konstrukcja załadunku pozwala na szybki załadunek i rozładunek płytek,
- Możliwość dokładnej kontroli procesu wytrawiania i określania szybkości,
- Równomierny rozkład temperatury płytek,
- Wielkość płytek do 200 mm,
- Niski koszt utrzymania,
- Zbudowany zgodnie ze standardami SEMI S2/S8.
PlasmaPro 100 ICPCVD
Ten moduł procesowy ICPCVD został zaprojektowany do wytwarzania wysokiej jakości powłok w niskich temperaturach. Jest to możliwe dzięki zastosowaniu plazmy o wysokiej gęstości, która umożliwia osadzanie doskonałej jakości powłok nie uszkadzając podłoża.
Główne cechy urządzenia:
- Doskonała jednorodność, wysoka wydajność i wysoka precyzja procesów,
- Elektroda o szerokim zakresie temperatur,
- Kompatybilny ze wszystkimi rozmiarami płytek do 200 mm,
- Szybka zmiana między rozmiarami płytek,
- Niski koszt zakupu i łatwość serwisowania,
- Kompaktowy rozmiar, elastyczny układ,
- Rezystywne podgrzewane elektrody do 400 °C lub 1200 °C,
- Możliwość czyszczenie komory in situ,
- Elastyczny moduł transportu par umożliwiający osadzanie powłok z wykorzystaniem ciekłych prekursorów TiO2 przy użyciu TTIP, SiO2 przy użyciu TEOS.
