Reaktywne trawienie jonowe (RIE)RIE-273x300

RIE jest typem suchego trawienia, które ma inne właściwości niż wytrawianie mokre. Wykorzystuje reaktywną chemicznie plazmę w celu usunięcia materiału osadzonego na płytkach.

Plazma jest wytwarzana pod niskim ciśnieniem (próżnia) przez pole elektromagnetyczne.

Typowy system składa się z komory próżniowej, w dolnej części której znajduje się odizolowana elektrycznie podstawa obrabianego materiału.

Gaz wprowadzany jest zwyczajowo przez otwory w górnej części i odprowadzany za pomocą odpowiedniego układu próżniowego. Rodzaj i ilość wprowadzanego gazu jest zależna od rodzaju

procesu, a jego ciśnienie utrzymywane na poziomie pomiędzy kilka a kilkaset militorrów.

PlasmaPro 80 RIE PlasmaPro 800 RIE PlasmaPro 100 RIE
Rozmiar elektrody 240mm 460mm 240mm
Załadunek Open load Load locked
Podłoża prosimy o kontakt 200mm z opcją nośników dla wielu oraz małych próbek
Zakres temperatur 10-80ºC -20 do 80ºC
Linie gazowane sterowane MFC 8 lub 12  8 lub 12
Opcja chłodzenia helem Tak Nie Tak
Opcja ICP Tak Nie
Skoncentrowana plazma Tak Nie