Ze względu na ciągłą potrzebę zmniejszenia kosztów produkcji oraz zwiększenie wydajności, pasywacja powierzchni krystalicznego krzemu (c-Si) dla ogniw słonecznych staje się niezbędna. Zwiększenie wydajność dzięki wysokiej jakości pasywacji powierzchni jest powszechnym standardem w przemyśle.

Atomic Layer Deposition (ALD)

Osadzanie warstw atomowych (ALD) jest to metoda sekwencyjnego powlekania przebiegająca w fazie gazowej, która produkuje cienkie warstwy o wysokiej jakości

ALD weszło w przemysł fotowoltaiczny wraz z ofertą poprawy wydajności komórek c-Si przez pasywację powierzchni. Beneq ALD zapewnia przemysłowo konkurencyjne urządzenia w celu osiągnięcia najwyższszej jakość pasywacji powierzchni tlenkiem glinu (Al2O3).

Pasywacja powierzchni w procesie produkcji

Pasywacja powierzchni ogniw c-Si może być stosowane zarówno w przypadku komórek typu  n jak i p:

  • Powłoka dwustronna w jednym kroku (dla typu n)
  • Powłoka jednostronna do typu p (boki mniejsze niż 1 mm)

Korzyści z używania urządzeń Beneq ALD

  • procentowy wzrost efektywności
  • całkowita ochronna oraz brak defektów
  • proces w niskiej temperaturze (150 – 250°C)
  • brak zanieczyszczenia atmosfery

Wysoka przepustowość

Niski koszt posiadania systemu

Beneq ALD 10mm Al2O3, po wygrzewaniu

wykres beneq

Zależność trwałość od gęstości nośnika (w nadmiarze) dla płytek p-Si, po pasywacji powierzchni Al2O3 przez Beneq ALD.

Urządzenia Beneq przeznaczone do pasywacji powierzchni

Urządzenia Beneq dla ALD są kombinacją projektu przygotowanego przez ekspertów, stałego praktycznego doświadczenia jak również licznych R&D. Cały sprzęt jest modułowy, a więc dostosowany do różnych powierzchni i cienkich warstw. Cienkie warstwy produkowane przez urządzenia  Beneq są regulowane, co pozwala producentom dokładnie dopasować właściwości pasywacji ze strukturą powierzchni dla otrzymania maksymalnej wydajność.

 urzadzenia benq

Beneq – doskonałość w ALD

Beneq jest pionierem w stosowaniu ALD do istniejących i powstających przemysłowych produkcji cienkich warstw. Z rekordem świata dla rozmiaru podłoża, pierwszym system roll-to-roll na rynku i wieloma innymi innowacjami, jest solidnym partnerem i dostawcą sprzętu dla przemysłowej produkcji cienkiej warstw.

Zapraszamy do zapoznania się z ofertą urządzeń ALD firmy Beneq, oraz do kontaktu.

Zespół Technolutions