Elipsometr obrazujący EP4 (nanofilm_ep4)accurion elipsometr

Nowa generacja  narzędzi metrologicznych powierzchni stosuje połączenie elipsometrii zerowej oraz mikroskopii w celu umożliwienia charakteryzacji powierzchni cienkich warstw z rozdzielczością poprzeczną rzędu 1 mikrona. Umożliwia to obserwacje obszaru próbki 1000 razy mniejszego od większości nieobrazujących elipsometrów, nawet jeżeli używają one możliwości mikro spektroskopowych.
Dzięki swoim unikalnym cechom Nanofilm_ep4 pozwala na wizualizację powierzchni w czasie rzeczywistym. Możliwa jest obserwacja struktury próbki w skali mikroskopowej oraz pomiar parametrów takich jak: grubość, współczynnik refrakcji i absorpcja. Mapy profilu 3D zaznaczonych obszarów mogą być nagrywane. Połączenie urządzenia z innymi technologiami, takimi jak AFM, QCM-D, refraktometria, spektroskopia Ramana itd. jest możliwe w celu otrzymania większej ilości informacji o próbce.

 

Oprogramowanie do modelowania

Oprogramowanie nanofilm_ep4 jest modularne. Oddzielne moduły oprogramowania ułatwiają funkcjonowanie aparatu. Umożliwiają one analizę równoległą, offline oraz zdalne zbieranie danych z urządzenia. Poszczególne moduły oprogramowania to: AccurionServer, EP4Control, AccurionDataStudio and EP4Model. AccurionServer jest organizerem struktury przechowywania danych jak również wszystkich źródeł danych. EP4Control steruje aparatem oraz zawiera funkcje przetwarzania obrazu. AccurionDataStudio pozwala na przetwarzanie danych niezależnych od instrumentu. EP4Model umożliwia modelowanie złożonych cienkich warstw oraz analizę i dopasowanie danych pomiarowych (nie wymagane do pomiarów BAM).

Kluczowe cechy

  • Bezpośrednia wizualizacja próbki z elipsometrycznym kontrastowym obrazem o rozdzielczości poprzecznej rzędu 1 mikrona
  • Elipsometria obrazująca w zakresie długości fal od 250 nm do 1700 nm
  • Wiele akcesoriów do różnych aplikacji (SPR lub stałe/ciekłe ogniwa, światłowody w interfejsach ciecz/ciecz, mikrofluidach, regulacji temperatury, ogniw elektrochemicznych i wiele innych)
  • Obrazy elipsometryczne w czasie rzeczywistym zapewniają szybką wizualizację powierzchni, wszelkich defektów i struktur
  • Równoległe pomiary z wielu obszarów w wybranym polu widzenia
  • Zastosowany układ eliminujący efekt odbicia przez tło pozwala na pomiary na cienkich, przezroczystych podłożach