Technologia ALD do zastosowań w powłokach antyrefleksyjnych

Wyzwaniem przy powlekaniu elementów optycznych 3D jest osadzenie powłoki o wysokiej jednorodności na dowolnej topografii w prosty sposób. Powszechnie stosowane techniki powodują nierównomierny rozkład grubości i efekty zacienienia. Aby rozwiązać ten problem, wymagana jest szeroko zakrojona optymalizacja procesu, co wciąż może nie prowadzić do wystarczająco jednorodnego osadzania się powłoki. Urządzenia ALD Beneq pokonuje te ograniczenia i udowodniło swoją przydatność w przypadku bardzo precyzyjnych powłok, w których wyzwaniem jest nie tylko uzyskanie jednorodności na dużą skalę, ale także powlekanie na strukturach o dowolnym kształcie.

Kopuły

Powłoki antyrefleksyjne ALD na dużych i mocno zakrzywionych soczewkach działają dobrze. Wynikowa wydajność cienkich warstw rozciąga się od zakresu widzialnego do podczerwieni, nawet w przypadku soczewek w kształcie kopuły o promieniu tak dużym, jak 150 mm. Metoda została uznana za odpowiednią dla wielu dużych elementów optycznych o dowolnym kształcie.

Płytki mikrokanalikowe (MCP)

ALD pozwala na osadzanie powłok w bardzo wąskich otworach, takich jak otwory o szerokości 10 µm i głębokości rzędu milimetrów, które znajdują się w płytkach mikrokanalikowych (MCP). ALD doskonale nadaje się do osadzania powłok na konwencjonalnych szkłach MCP-PMT ze szkła tlenkowo-ołowiowego, co wydłuża żywotność urządzenia. Powłoki osadzane za pomocą urządzeń ALD firmy Beneq skutecznie uszczelniają powierzchnię MCP, zapobiegając desorpcji zanieczyszczeń w szkle MCP.

Przewiń do góry