Pomiar grubości powłok

ZOBACZ WIĘCEJ
01

Reflektometry to urządzenia optyczne, które umożliwiają szybki i bezkontaktowy pomiar cienkich, transparentnych powłok oraz pozwala określić współczynnik załamania światła. Dzięki niemu można ustalić następujące właściwości powłok:

  • grubość,
  • współczynniki załamania i absorpcji (“n” i “k”),
  • reflektancja ( procentowa ilość światła odbijanego ),
  • transmitancja ( procentowa ilość światła przepuszczanego).

F3-CS

  • przenośny
  • zasilany jedynie przez USB
  • szybki pomiar reflektancji i/lub transmitancji (opcjonalnie grubości i współczynników załamania i absorpcji)

 

Zakres pomiaru grubości

F3-SX

  • pomiary głownie w podczerwieni
  • dedykowany do pomiarów półprzewodników
  • nawet dla powłok o grubościach do 3mm
  • pomiar grubości,reflektancji, transmitancji


Zakres pomiaru grubości

F10-RT

  • pomiar reflektancji i transmitancji po jednym kliknięciu myszką (opcjonalnie grubości i współczynników załamania i absorpcji)


Zakres pomiaru grubości

F10-AR

  • dedykowany do pomiarów powłok antyrefleksyjnych oraz typu hardcoat
  • pomiar barwy powłoki
  • szybki pomiar reflektancji i/lub transmitancji (opcjonalnie grubości)


Zakres pomiaru grubości

F20

  • najbardziej uniwersalny system
  • szereg opcjonalnych akcesoriów
  • pomiar grubości,reflektancji, transmitancji, współczynników załamania i absorpcji

Zakres pomiaru grubości

F30

  • pomiar ciągły (np. podczas procesu nanoszenia warstwy)
  • pomiar prędkości osadzania, grubości i współczynników załamania i absorpcji

Zakres pomiaru grubości

F40

  • integrowalny z mikroskopem świetlnym
  • plamka pomiarowa min. 1um
  • pomiar grubości, reflektancji, współczynników załamania i absorpcji

Zakres pomiaru grubości

F50

  • automatyczny stolik pozwalający na mapowanie powierzchni nawet do 450mm średnicy
  • pomiar grubości,reflektancji, współczynników załamania i absorpcji

Zakres pomiaru grubości

Wytwarzając powłoki półprzewodnikowe kluczowej jest określenie ich grubości oraz parametrów optycznych. Precyzyjny pomiar współczynnika załamania światła wytworzonej powłoki przekłada się bezpośrednio na jej użyteczność. Współczynnik załamania światła, zwany też indeksem załamania jest miarą ugięcia promienia światła przy przejściu z jednego ośrodka do drugiego. W rzeczywistości współczynnik załamania nie jest wartością stałą, ale zmienia się wraz z długością fali (to znaczy, że materiały wykazują dyspersję). Parametr ten można w prosty sposób wyznaczyć posiadając informację o refleksyjności powłoki dla wielu długości fali. Podstawowymi urządzeniami, które w prosty sposób dostarczają informacji o współczynniku załamania światła są reflektometria i elipsometria. Techniki te bazując na nieniszczących pomiarach generują widmo parametru n dla dowolnego zakresu spektralnego.