Przemysłowa pasywacja powierzchni ogniw słonecznych c-Si

Ze względu na ciągłą potrzebę zmniejszenia kosztów produkcji oraz zwiększenie wydajności, pasywacja powierzchni krystalicznego krzemu (c-Si) dla ogniw słonecznych staje się niezbędna. Zwiększenie wydajność dzięki wysokiej jakości pasywacji powierzchni jest powszechnym standardem w przemyśle.

Atomic Layer Deposition (ALD)

Osadzanie warstw atomowych (ALD) jest to metoda sekwencyjnego powlekania przebiegająca w fazie gazowej, która produkuje cienkie warstwy o wysokiej jakości

ALD weszło w przemysł fotowoltaiczny wraz z ofertą poprawy wydajności komórek c-Si przez pasywację powierzchni. Beneq ALD zapewnia przemysłowo konkurencyjne urządzenia w celu osiągnięcia najwyższszej jakość pasywacji powierzchni tlenkiem glinu (Al2O3).

Pasywacja powierzchni w procesie produkcji

Pasywacja powierzchni ogniw c-Si może być stosowane zarówno w przypadku komórek typu n jak i p:

• Powłoka dwustronna w jednym kroku (dla typu n)
• Powłoka jednostronna do typu p (boki mniejsze niż 1 mm)

Korzyści z używania urządzeń Beneq ALD

• procentowy wzrost efektywności
• całkowita ochronna oraz brak defektów
• proces w niskiej temperaturze (150 – 250°C)
• brak zanieczyszczenia atmosfery

Wysoka przepustowość

• 1600 płytek/godzinę (powłoka jednostronna, urządzenie P800)
• 2000 płytek/godzinę (dwustronne powlekanie, urządzenie TFS NX300)

Niski koszt posiadania systemu

• 0,021 €/płytka (powłoka jednostronnie, urządzenie P800)
• 0,34 € /płytka (dwustronne powlekanie, urządzenie TFS NX300)

Beneq ALD 10mm Al2O3, po wygrzewaniu

Zależność trwałości od gęstości nośnika (w nadmiarze) dla płytek p-Si, po pasywacji powierzchni Al2O3 przez Beneq ALD.

Urządzenia Beneq przeznaczone do pasywacji powierzchni

Urządzenia Beneq dla ALD są kombinacją projektu przygotowanego przez ekspertów, stałego, praktycznego doświadczenia jak również licznych R&D. Cały sprzęt jest modułowy, a więc dostosowany do różnych powierzchni i cienkich warstw. Cienkie warstwy produkowane przez urządzenia Beneq są regulowane, co pozwala producentom dokładnie dopasować właściwości pasywacji ze strukturą powierzchni dla otrzymania maksymalnej wydajności.

Beneq – doskonałość w ALD

Beneq jest pionierem w stosowaniu ALD do istniejących i powstających przemysłowych produkcji cienkich warstw. Z rekordem świata dla rozmiaru podłoża, pierwszym systemem roll-to-roll na rynku i wieloma innymi innowacjami, jest solidnym partnerem i dostawcą sprzętu dla przemysłowej produkcji cienkich warstw.