Wizualizacja powierzchni i struktury
- Wizualizacja powierzchni i struktury Profilometry stykowe
PROFILOMETRY STYKOWE
Profilometr jest urządzeniem pomiarowym służącym do pomiaru parametrów chropowatości i falistości powierzchni. Dzięki zastosowaniu odpowiedniego systemu optyki w profilometrach stykowych firmy Tencor możliwa jest:
- Rozdzielczość pionowa poniżej 1 Å przy dobrej powtarzalności i kroku pomiarowym do 5 nm
- Szybka reakcja na zmiany topografii
- Siły do 0,03 mg do pomiaru miękkich powierzchni
- Możliwość pomiaru dużej wysokości skoku z wykorzystaniem zakresu pomiarowego w osi Z do 1200 μm
D-500
Profilometr stykowy Alpha-Step D-500 może mierzyć wysokość stopnia 2D od kilku nanometrów do 1200 µm. D-500 daje również możliwość wykonywania pomiarów chropowatości i naprężeń w zastosowaniach badawczo-rozwojowych i produkcyjnych. D-500 posiada manualny 140 mm stolik i zaawansowaną optykę z ulepszonymi obrazami wideo.
Zaletą profilometrów stykowych jest pomiar bezpośredni, niezależny od właściwości materiału. Regulowana siła i wybór igły umożliwiają dokładne pomiary różnorodnych struktur i materiałów. Umożliwia to analizę procesu w celu ustalenia ilości dodanego lub usuniętego materiału, a także wszelkich zmian w strukturze poprzez pomiar chropowatości i naprężeń.
Funkcje profilometru D-500:
- Wysokość kroku: od kilku nanometrów do 1200 µm
- Niska siła nacisku: od 0,03 do 15 mg
- Wideo: kolorowy aparat o rozdzielczości 5 MP
- Korekcja trapezowa: usuwa zniekształcenia spowodowane optyką
- Korekcja łuku: usuwa błąd spowodowany ruchem ostrza
- Kompaktowy rozmiar
- Oprogramowanie: przyjazny dla użytkownika interfejs oprogramowania
Obraz po korekcji trapezowej
Standardowa optyka
Aplikacje:
- Wysokość stopnia: pomiar wysokości stopnia 2D
- Tekstura: pomiar chropowatości 2D i falistości
- Naprężenie: naprężenie cienkowarstwowe 2D
Pomiary wysokości
stopnia (wysokość 8,5 nm)
Pomiar głębokości bruzdy (59,4 mm)
Zastosowania:
- Półprzewodniki
- LED: diody elektroluminescencyjne
- Panele słoneczne
- MEMS: systemy mikroelektromechaniczne
- Automotive
- Urządzenia medyczne
D-600
Profilometr stykowy Alpha-Step D-600 może mierzyć wysokości stopnia w 2D i 3D od kilku nanometrów do 1200 µm. D-600 obsługuje również pomiary chropowatości 2D i 3D, a także pomiary łuku 2D i naprężeń w badaniach i rozwoju oraz środowiskach produkcyjnych. D-600 zawiera zmotoryzowany stolik z uchwytem o średnicy 200 mm i zaawansowaną optykę z ulepszonymi kontrolami wideo.
Aplikacje:
- Wysokość skoku: 2D i 3D
- Tekstura: chropowatość i falistość 2D i 3D
- Naprężenia: naprężenia cienkowarstwowe 2D
Obraz z wysokorozdzielczej kolorowej kamery 5 MP
Uproszczona konfiguracja przepisu sekwencji
Wysokość stopnia na wzorzystym szkle
Skan 3×1,4 mm przy maksymalnej wysokości stopnia 117 μm
Tekstura powierzchni 3D
Skanowanie 1×1 mm z chropowatością 4,8 μm (Sq)
DODATKOWE OPCJE
Igły
Alpha-Step D-600 oferuje różnorodne igły pomiarowe do pomiaru wysokości stopni, powierzchni o wysokim współczynniku kształtu, chropowatości i naprężeń. Promień końcówki wynosi od 100 nm do 50 µm i określa poziomą rozdzielczość pomiaru. Kąt mieści się w zakresie od 20 do 100 stopni, które określają maksymalny współczynnik kształtu mierzonego obiektu. Wszystkie trzpienie są produkowane z diamentu, aby zmniejszyć zużycie i wydłużyć żywotność igły.
Standardy wysokości stopnia
Alpha-Step D-600 wykorzystuje cienkie i grube folie NIST, możliwe do wyśledzenia standardy wysokości stopnia oferowane przez VLSI. Zestaw zawiera stopnie tlenkowe na silikonowej matrycy zamontowanej na bloku kwarcowym. Dostępny jest zakres wysokości stopnia od 8 nm do 250 µm.
Uchwyty na próbki
Alpha-Step D-600 oferuje szereg uchwytów do obsługi różnych aplikacji. Standardowym uchwytem jest pokryty niklem aluminiowy uchwyt próżniowy do próbek do 200 mm. Oferowany jest również uniwersalny uchwyt próżniowy, który posiada precyzyjne piny ustalające dla próbek od 50 mm do 200 mm. Obie opcje obsługują pomiary naprężeń za pomocą 3-punktowych lokalizatorów, które utrzymują próbkę w pozycji neutralnej w celu dokładnych pomiarów łuku.
Oprogramowanie do analizy Apex
Oprogramowanie Apex zwiększa standardowe możliwości analizy danych w D-600 dzięki rozszerzonemu pakietowi technik poziomowania, filtrowania, wysokości stopnia, chropowatości i analizy topografii powierzchni. Apex obsługuje metody obliczania chropowatości zgodnie z ISO oraz innymi standardami takimi jak: ASME. Apex może także służyć jako platforma do tworzenia raportów z możliwością dodawania tekstu, adnotacji oraz kryteriów akceptacji/odrzucania. Apex jest oferowany w ośmiu językach.
Oprogramowanie do analizy offline
Oprogramowanie offline Alpha-Step D-600 ma tę samą funkcję analizy danych, co narzędzie. Umożliwia to użytkownikowi analizowanie danych bez zajmowania urządzenia pomiarowego.
Porównanie profilometrów stykowych D-500 i D-600
Specyfikacja stolika:
| D-500 | D-600 | |
| Typ stolika | manualny | zmotoryzowany |
| Średnica stolika | 140 mm | 200 mm |
| Zakres ruchu w kierunkach X i Y | 80 i 20 mm | 150 i 178 mm |
| Kąt theta | 360° | 360 |
| Maksymalna długość skanowania | 30 mm | 55 mm |
| Szybkość skanowania | 10-400 mm/s | 10-400 mm/s |
| Grubość próbki | 20 mm | 30 mm |
Specyfikacja pomiarów:
| D-500 | D-600 | |
| Powtarzalność | 5,0 Å lub 0,1 % | 50 Å lub 0,1 % |
| Zakres w osi Z | 1200 mm | 1200 mm |
| Rozdzielczość pionowa | 0,38 Å | 0,38 Å |
| Siła nacisku igły | 0,03 – 15 mg | 0,03 – 15 mg |
| Szybkość skanowania | 2000 Hz | 2000 Hz |
| Maksymalna liczba punktów na skan | 120000 | 120000 |
| Rozdzielczość pozioma | 100 nm | 100 nm |
Specyfikacja optyki:
| D-500 | D-600 | |
| Obrazowanie 3D | - | Opcjonalnie |
| Sekwencjonowanie | - | Opcjonalnie |
| Wideo | Korekcja trapezowa | Korekcja trapezowa |