Moorfield Nanotechnology

nanoPVD-T15A

System nano-PVD-T15A jest urządzeniem dedykowanym do wytwarzania powłok przy użyciu jednej z technik PVD (ang. Physical Vapour Deposition), mianowicie ewaporacji termicznej. Instrument produkuje powłoki zarówno z metali jak i materiałów organicznych w trybie niskotemperaturowym, korzystając z dedykowanych źródeł typu LTE (ang. Low Thermal Evaporation) .

Opis urządzenia

System współpracuje z źródłami typu „box” (materiał rozpylany z łódeczek, koszyków lub drutów), zabezpieczającymi przed nadmierną kontaminacją komory procesowej oraz podłożami do 4”. Pomimo swoich kompaktowych rozmiarów posiada możliwość współpracy z 2 źródłami do ewaporacji metali lub 4 źródłami do ewaporacji materiałów o niskiej temperaturze topnienia (materiały organiczne). Istnieje również możliwość skonfigurowania systemu z dwoma różnymi rodzajami źródeł w jednej komorze ( 2 + 2 ), gdyż procesy są w pełni kompatybilne.  Urządzenie jest wyposażone w zmotoryzowanym stolik na preparaty z możliwością obrotu, podgrzewania oraz regulacji wysokości. Komora jest dodatkowo wyposażona w wewnętrzne osłony zapobiegające zanieczyszczeniom oraz przysłony źródeł i preparatów różnej wielkości. Elektronika urządzenia jest oparta o kontroler PLC, a użytkownik komunikuje się z systemem poprzez dotykowy panel sterujący lub komputer PC. Układ próżniowy bazuje na wysokiej jakości systemach firmy Edwards – pompie próżni wstępnej (olejowej bądź suchej) oraz pompie turbomolekularnej – zapewniających pracę w ultra-wysokiej próżni rzędu . System ponadto może być wyposażony w  szereg opcji dodatkowych w postaci modułów monitorowania wzrostu powłoki, wysokiej dokładności kontroli ciśnienia, układów szybkiego odpompowywania itp. Urządzenie jest kompatybilne z pomieszczeniami typu clean-room.

Parametry systemu
– system kompaktowy typu benchtop– możliwość przesuwu w osi Z
– do 2 źródeł ewaporacji metali– monitorowania wzrostu powłoki
– do 4 źródeł ewaporacji materiałów organicznych– automatyczne sterowanie ciśnieniem wewnątrz komory
– wielkość preparatów do 4”– ciśnienie bazowe < .
– możliwość podgrzewania podłoża do 500°C– definiowana baza procesów
– możliwość obracania podłoża– urządzenie kompatybilne z cleanroom
Galeria

Potrzebujesz informacji?

Zostaw swój kontakt, odezwiemy się

Technolutions sp. z o. o.

Otolice 38

99-400 Łowicz

 

 

tel.: +48 606 440 718

e-mail: kontakt@technolutions.pl

Technolutions 2020 © wszelkie prawa zastrzeżone

badanie przyczepności powłok

Wyjątkowa oferta na zakup mikroskopu