nanoETCH

nanoETCH jest urządzeniem dedykowanym do delikatnego trawienia materiałów 2D, jak np. grafen lub dichalkogenki metali, z bardzo wysoką precyzją procesu. Został stworzony w kolaboracji firmy Moorfield Nanotechnology oraz Manchester University.

W odróżnieniu od tradycyjnych rozwiązań do trawienia, nanoETCH został zoptymalizowany pod kątem pracy z materiałami typu 2D ( grubości warstw w skali nano i sub-nano). System jest wyposażony w precyzyjne źródło zasilania typu RF < 30W ( min. 10mW) połączone ze stolikiem na preparaty o średnicy do 6”. System pracuje w oparciu o pompę turbomolekularną gwarantująca ciśnienie bazowe na poziomie mbar. Może również współpracować z 3 różnymi gazami procesowymi, których przepływ jest sterowany przy użyciu MFC. Sterowanie ciśnieniem odbywa się poprzez kontrolę przepływu gazu bądź w sposób automatyczny przy użyciu manometrów pojemnościowych, z dokładnością 1 mTorr. Użytkownik również w trakcie trwania procesu może dowolnie zmieniać wszystkie jego parametry.

Elektronika systemu jest oparta o kontroler typu PLC. Użytkownik jest w stanie definiować, przechowywać oraz wykorzystywać ponownie szereg różnorodnych procesów. Sterowanie odbywa się przy użyciu dotykowego panelu lub zdalnie z poziomu PC i dedykowanego oprogramowania NanoConnect.