Modyfikacja powierzchni szkła za pomocą implantacji jonów

„BÓG STWORZYŁ MATERIĘ, A DIABEŁ JEJ POWIERZCHNIĘ” (WOLFGANG PAULI)

Szkło jest materiałem amorficznym, który przechodzi w stan stały bez etapu krystalizacji.
Z termodynamicznego punktu widzenia szkło jest w stanie nietrwałym. Zastosowanie implantacji jonowej w technologii szkła ma na celu zmianę/poprawę jego właściwości (optycznych, mechanicznych).

Technologia – różnice między nanoszeniem powłok a implantacją:

Implantacja jonów

• Nadaje się dla np.: metali, szkła (szafir), polimerów (np. elastomery)
• Głębokość wnikania od nm do µm
• Elektronowy rezonans cyklotronowy ECR zapewnia implantację jonów o różnych ładunkach
• Elektronowy rezonans cyklotronowy ECR sprawdza się bez pieców dla pierwiastków lekkich i szlachetnych (N, O, C, He, Ne, Ar, Xe), z piecami dla metali.
• Nie istnieje ryzyko delaminacji
• Azotowanie, karbonizacja, domieszkowanie półprzewodników

Nanoszenie powłoki

• Nadaje się do nanoszenia atomów i molekuł
• Grubości od warstwy atomowej
• Odpowiednie przygotowanie powierzchni oraz czyszczenie jest kluczowe
• Istnieje ryzyko delaminacji
• ALD, PVD, CVD, DLC, ewaporacja, rozpylanie