System MiniLab-080 jest modułowym urządzeniem z obszerną komorą procesową dedykowanym do wytwarzania powłok przy użyciu technik PVD (ang. Physical Vapour Deposition), zarówno sputteringu magnetronowego, ewaporacji termicznej w szerokim zakresie temperatur jak i ewaporacji z użyciem wiązki elektronów e-beam. Mod sputteringu produkuje powłoki zarówno z metali (z wykorzystaniem zasilania typu DC) jak i ich związków np. tlenki, azotki, tellurki, siarczki itp. (zasilanie typu RF). W modzie ewaporacyjnym możemy korzystać z dwóch rodzajów źródeł; dedykowanych do napylania materiałów o wysokiej temperaturze topnienia jak np. metale oraz delikatnych materiałów z niską temperaturą topnienia jak materiały organiczne. Wiązkę elektronów użytkownik może natomiast wykorzystać do odparowania materiałów o bardzo wysokiej temperaturze topnienia jak np. molibden czy wolfram. MiniLab-080 od młodszego brata tj. systemu sygnowanego numerem 060 odróżnia wysokość komory procesowej – w tym modelu jest ona znacznie wyższa, co daje większą elastyczność ustawiania tzw. working-distance. Sprzyja to jednorodności powłok wykonywanych przy użyciu technik ewaporacyjnych
Opis urządzenia
System może być skonfigurowany do pracy w dwóch trybach; sputter-up tj. źródła depozycji w dolnej części komory a preparaty w górnej lub odwrotnie, sputter-down. Powłoki mogą być wytwarzane na preparatach o średnicy do 11”, umieszczanych na w pełni zmotoryzowanym stoliku, pozwalającym na rotację, przesuw w osi Z, podgrzewanie/chłodzenie podłoża oraz zadawanie napięcia.
Urządzenie może być wyposażone w 4 źródła do sputteringu magnetronowego współpracujące z klasycznymi przemysłowymi targetami o średnicy do 4”, 4 źródła do ewaporacji metali i/lub 4 źródła do ewaporacji materiałów o niskiej temperaturze topnienia jak materiały organiczne oraz wielokieszeniowe źródło typu e-beam (6 lub 8 kieszeni na materiały rozpylane). Źródła oraz przepusty są chłodzone wodą. Istnieje możliwość skonfigurowania w jednej komorze wszystkich technik spośród wymienionych. System ponadto jest wyposażony w zestaw przysłon źródeł i preparatów oraz osłony komory i okna podglądu, zabezpieczające przed kontaminacją komponentów wrażliwych.
Elektronika urządzenia jest oparta o kontroler PLC, a użytkownik komunikuje się z systemem poprzez dotykowy panel sterujący lub komputer PC. Układ próżniowy bazuje na wysokiej jakości systemach firmy Edwards – pompie próżni wstępnej (olejowej bądź suchej) oraz pompie turbomolekularnej – zapewniających pracę w ultra-wysokiej próżni rzędu . System ponadto może być wyposażony w szereg opcji dodatkowych w postaci modułów monitorowania wzrostu powłoki, wysokiej dokładności kontroli ciśnienia, układów szybkiego odpompowywania itp. Urządzenie jest kompatybilne z komorami rękawicowymi różnych producentów oraz pomieszczeniami typu clean-room. Dodatkowo może być wyposażone w śluzę załadowczą typu Load-Lock.
Aby zapewnić jak najlepsze wrażenia, korzystamy z technologii, takich jak pliki cookie, do przechowywania i/lub uzyskiwania dostępu do informacji o urządzeniu. Zgoda na te technologie pozwoli nam przetwarzać dane, takie jak zachowanie podczas przeglądania lub unikalne identyfikatory na tej stronie. Brak wyrażenia zgody lub wycofanie zgody może niekorzystnie wpłynąć na niektóre cechy i funkcje.
Funkcjonalne
Zawsze aktywne
Przechowywanie lub dostęp do danych technicznych jest ściśle konieczny do uzasadnionego celu umożliwienia korzystania z konkretnej usługi wyraźnie żądanej przez subskrybenta lub użytkownika, lub wyłącznie w celu przeprowadzenia transmisji komunikatu przez sieć łączności elektronicznej.
Preferencje
Przechowywanie lub dostęp techniczny jest niezbędny do uzasadnionego celu przechowywania preferencji, o które nie prosi subskrybent lub użytkownik.
Statystyka
Przechowywanie techniczne lub dostęp, który jest używany wyłącznie do celów statystycznych.Przechowywanie techniczne lub dostęp, który jest używany wyłącznie do anonimowych celów statystycznych. Bez wezwania do sądu, dobrowolnego podporządkowania się dostawcy usług internetowych lub dodatkowych zapisów od strony trzeciej, informacje przechowywane lub pobierane wyłącznie w tym celu zwykle nie mogą być wykorzystywane do identyfikacji użytkownika.
Marketing
Przechowywanie lub dostęp techniczny jest wymagany do tworzenia profili użytkowników w celu wysyłania reklam lub śledzenia użytkownika na stronie internetowej lub na kilku stronach internetowych w podobnych celach marketingowych.