Wizualizacja powierzchni i struktury
- Wizualizacja powierzchni i struktury Mikroskopy interferometryczne
W mikroskopach interferencyjnych stosuje się kilka trybów pomiarowych opartych na zasadzie interferencji światła. Do najważniejszych należą:
Interferometria skanowania pionowego VSI (Vertical Scanning Interferometry), znana także jako Interferometria światła białego WLI (White Light Interferometry) Kontrast fazowy |  | Interferometria przesunięcia fazowego PSI (Phase Shifting Interferometry) Kontrast interferencyjno-różnicowy (kontrast Nomarskiego) |
Interferometria skanowania pionowego VSI
Do oświetlania badanej powierzchni używa się światła białego. Wiązka świetlna dzielona jest w obiektywie interferometrycznym na wiązkę pomiarową, odbijającą się od badanej powierzchni oraz na wiązkę referencyjną, odbijająca się od ultra gładkiego zwierciadła. Następnie obie wiązki nakładają się i zachodzi zjawisko interferencji. Gdy badana powierzchnia różni się od powierzchni zwierciadła referencyjnego, w obrazie powierzchni pojawiają się charakterystyczne biało-czarne prążki interferencyjne, będące lokalnymi wzmocnieniami i osłabieniami intensywności światła. Głowica urządzenia wraz z obiektywem porusza się w pionie, dzięki temu różne fragmenty badanej powierzchni leżące na różnych wysokościach, po kolei znajdują się w odległości ogniskowej obiektywu, co skutkuje “przesuwaniem się prążków” i zapewnia skanowanie całej powierzchni. Przy użyciu zaawansowanych algorytmów analizowana jest informacja zawarta w prążkach interferencyjnych, co następnie pozwala stworzyć trójwymiarową reprezentację badanej powierzchni (obraz 3D) z rozdzielczością pionową na poziomie pojedynczych nanometrów.
Metoda ta stosowana jest w specjalnym typie mikroskopów interferencyjnych zwanych profilometrami optycznymi.
Interferometria przesunięcia fazowego PSI
Do oświetlania badanej powierzchni używa się światła quasi-monochromatycznego ( w przybliżeniu światło o określonej długości fali). Proces pomiarowy przebiega tak samo jak w trybie VSI. Stosowane są jedynie innego rodzaju algorytmy analizujące zebrane dane, pozwalające na uzyskanie jeszcze lepszej rozdzielczości pionowej na poziomie 0,1 nm.
Metoda ta przeznaczona jest głównie do pomiaru powierzchni płaskich o niewielkich chropowatościach. Stosowana jest w specjalnym typie mikroskopów interferencyjnych zwanych profilometrami optycznymi.
Informacje dotyczące urządzeń