WCS 600 roll-to-roll ALD

_DSC1736_modlr supersmall_0

System WCS 600 jest urządzeniem roll-to-roll ALD dla badań R&D jak również produkcji pilotażowych. System pozwala na ciągłe osadzanie wysokiej jakości warstw ALD na rolce elastycznych substratów, np. materiałach polimerowych, metalowych lub papierowych. Beneq WCS 600 wykorzystuje opatentowaną technologię przestrzennego powlekania ALD, które umożliwia wysokie prędkości osadzania, oraz niskie wymagania konserwacyjne. Prędkość osadzania systemu jest wysoce skalowalna, osiągając prędkość 10 metrów na minutę. System ten wyjątkowo dobrze nadaje się do wymagających zastosowań cienkowarstwowych w wyświetlaczach AMOLED, oświetleniu OLED, elastycznych ogniwach fotowoltaicznych, baterii i powlekania elastycznego szkła.

Główne dane:

  • proces ALD roll-to-roll
  • szerokość maksymalna sieci 625 mm
  • pojemność 400.000 m2 / rok (dla konkretnej aplikacji)

Główne elementy systemu:

  • Komora próżniowa z bębnami sieciowymi, bębnem procesu i głowicą do powlekana ALD
  • System dostarczania prekursora Beneq (PDS)
  • Szafka elektryczna i sterownicza
  • System dezaktywacji prekursorem
  • Pompa próżniowa

Specyfikacja techniczna

 Zakres temperatur procesu  do 150 ºC
 Powierzchnia podłoża (szerokość sieci)  do 625 mm
 Materiał podłoża  warstwa polimerowa lub inna elastyczna
 Szybkość sieci  do 2 m/min
 Przepustowość (dla 25 nm grubości warstwy)  400,000 m2 /rok
 System sterowania system PLC z interfejsem użytkownika PC
 Główne wymiary układu ALD (długość x szerokość x wysokość)  2060 × 2340 × 2150 (mm)
 Główne wymiary układu dostarczania prekursora (długość x szerokość x wysokość)  1750 × 800 × 1530 (mm)
 Główne wymiary szafki elektrycznej (długość x szerokość x wysokość)  1010 × 320 × 1220 (mm)