Vistec SB254 jest urządzeniem o wysokiej wydajności, uniwerslanym oraz opłacalnym dla litografii wiązką elektronową. Pozwala to na stosowanie go do bezposredniego zapisu oraz tworzenie masek dla różnorodnych aplikacji w przemyśle oraz badaniach.
Urządzenie reprezentuje ciągły rozwój sprawdzonej i co najważniejsze skutecznej serii SB250.vistec_SB254

Główne cechy

  • system w pełni zautomatyzowany poprzez SIMF Casette to Casette i podłoża
  • wstępne wyrównanie
  • uchwyty podłoża z dolną referencją
  • górne uchwyty referencji na zamówienie
  • wykrywanie krawędzi podłoża
  • minimalny wymiar <20nm (HSQ)
  • MDSP (Pakiet oprogramowania wykrywania znaków)
  • wysoka dokładność

Istnieją możliwości dodatkowego wyposażenia urządzenia.