TFS 600 Beneq jest specyficznym systemem ALD zaprojektowanym dla  zintegrowanej hermetycznej linii próżniowej OLED. Zapewnia to lepszą jakość cienkich warstw, przy jednoczesnym zapewnieniu wysokiej przepustowości, solidność, oraz spełnia wymagania środowiskowe przemysłu. W TFS 600 wymogi te są spełniane przez zoptymalizowanie konstrukcji komory reakcyjnej, elementów kontroli i eksploatacji oraz zintegrowania funkcji bezpieczeństwa.Beneq TFS 600_light-fin

Główne dane:

  • Lepsza jakość cienkowarstwowych powłok, dzięki czemu idealnie nadaje się do zastosowań aplikacji OLED
  • Krótkie cykle powodują wysoką przepustowość produkcji in-line
  • W pełni zautomatyzowane czynności załadunkowe
  • Kompatybilny z clean-roomem
  • Wszystkie elementy znajdują się w obrębie wentylowanej ramy ze względów BHP
  • Ergonomiczna konstrukcja dla maksymalizacji efektywności obsługi podłoża, zmiany prekursora,dostępu do komory próżniowej oraz konserwacji
  • System sterowania zaprojektowany dla łatwej integracji linii , jak również jest kompatybilny z GEM / SECS

Specyfikacja techniczna

 Zakres temperatur procesu 25 – 150 °C, nominalna 90 °C
 Komora reakcyjna (długość x szerokość x wysokość) 420 × 600 × 1165 (mm)
 Podłoże rozmiar: 500 × 400 (mm)
max. ilość:  35 szt. (nominalnie)
 Źródła cieczy (ambient to 90 °C) do 5 (może się różnić)
 System kontroli kontrola PLC z interfejsem użytkownika PC (zgodny z GEM/SECS)
 Główne wymiary systemu ALD (długość x szerokość x wysokość) 2000 × 1200 × 2940 (mm) (może się różnić)
Główne wymiary platformy prekursora (długość x szerokość x wysokość) 2200 × 450 (mm) (może się różnić)