BATCHSPRAY_SOLVENTProduce_Solvent_klein

BATCHSPRAY Solvent pozwala na stosowanie wszystkich rozpuszczalników oraz substancji chemicznych bazujących na rozpuszczalnikach. Nieprzerwany proces włączając w to płukanie oraz suszenie (przy 2000RPM) możliwy jest dzięki instalacji do 4 zbiorników chemicznych. Przepustowość urządzenia wynosi do 150 wafli/h przy jednorazowym wsadzie 50 wafli.

Zalety:

  • automatyczny proces dry in – dry out
  • powtarzalne sterowanie procesem
  • 80% mniejsza konsumpcja wody dejonizowanej
  • 80% mniejsza ilość odpadów chemicznych
  • obudowa urządzenia kompatybilna z cleanroom
  • bezpieczeństwo operatora

Aplikacje

  • usuwanie rezystu
  • usuwanie polimeru
  • czyszczenie