Trawienie plazmowe jest formą przetwarzania plazmy używanej do wytwarzania układów scalonych. Składa się ona ze struRIE-PEmienia plazmy odpowiedniej mieszaniny gazów skierowanej (w impulsach) na próbkę. Źródłem plazmy mogą być jony jak również cząstki obojętne (atomy lub rodniki). Podczas tego procesu, plazma generuje lotne produkty trawienia w temperaturze pokojowej, z reakcji chemicznej pomiędzy elementami materiału wytrawianego, oraz reaktywnych związków wytwarzanych przez plazmę. Na koniec procesu modyfikacji ulegają właściwości fizyczne próbki.

PlasmaPro 80 RIE PlasmaPro 800 RIE
Rozmiar elektrody 240 mm 460 mm
Załadunek Open load
Położa prosimy o kontakt
Linie gazowane sterowane MFC 4,8 lub 12 liniowa linia dostępna
Zakres temperatur 10-80°C
Opcja chłodzenia helem Tak Nie
opcja ICP Tak Nie
Skoncentrowana plazma Tak