LST – 300A – Tomograf laserowy

LST-300A

LST (ang. Light Scattering Tomograph) jest skutecznym narzędziem do monitorowania masowych mikro defektów (BMD) w próbkach krzemowych. BMD rozprasza padające światło, które jest rejestrowane przez kamerę CCD w pobliżu rozszczepiającej krawędzi próbki.

Cechy:

  • Wyznaczenie DZ od jednego obrazu rozkładu stężenia wzdłuż średnicy płytek w ciągu kilku minut
  • Rozdzielczość głębokości: 0.5μm
  • Pierwsza cząstka wykryta w 0.5μm od powierzchni
  • Pełna automatyka pozwalająca na badania połówek płytek
  • Autofokus na przeciętej powierzchni