IBE_webPodczas IBE elektrony emitowane z termokatody wykonują po torach spiralnych ruchy na skutek obecności pola magnetycznego.
W wyniku zderzeń z atomami gazu roboczego jonizują je i tym samym powodują powstanie obszaru plazmy.
Aby nie dopuścić do elektrostatycznego ładowania się powierzchni trawionej (mogłoby to spowodować zahamowanie procesu trawienia w przypadku dielektryków),  jak również zniwelować tendencje jonów do rozbiegania się w wiązce, na ich drodze ustawiona jest druga termokatoda, która emituje chmurę niskoenergetycznych elektronów.
Płytki mocowane są na podstawie suportu którego oś montowana jest pod pewnym kątem do kierunku wiązki.
Dzięki tym zabiegom skuteczność trawienia jest zwiększona oraz zmniejszone jest prawdopodobieństwo zanieczyszczenia jednej płytki materiałem z drugiej.

Ionfab 300
Źródło wytrawiania 150 lub 300mm
Powierzchnia wytrawiania do 100mm
Prędkość obrotowa do 20rpm
Kąt nachylenie stołu -90º to +75 º (1)
Ogrzewanie stołu do 300ºC
Chłodzenie Hel
Źródło jonów 15cm lub 35cm RF

(1) jeżeli stosowany jest SIMS wtedy kąt wynosi -90º to +35 º