Ekonomiczny system metrologiczny dla produkcji wafli F80 t

f80t_main_image-large

Inżynieria procesu w produkcji wymaga by pomiary grubości były szybkie i bezproblemowe. Innowacyjna technologia firmy Filmetrics Thickness Imaging™ oferuje system z łatwym programowaniem pomiaru za ułamek kosztów urządzeń metrologicznych.

W przeciwieństwie do konwencjonalnych systemów mierzących grubość i współczynnik załamania tylko w jednym punkcie F80 generuje mapę tych parametrów przez zebranie danych z tysięcy miejsc będących w pobliżu mierzonego miejsca.

Konfiguracja urządzenia może zostać dostosowana do potrzeb klienta, od tańszych, manualnych, nastołowych wersji do w pełni zautomatyzowanych systemów obsługujących kasety. System F80 jest narzędziem szeroko stosowanym w dziedzinach: CMP, CVD, PVD i procesach produkcji wafli.

Thickness Imaging™ to marka należąca do Filmetrics Inc. i zdobywca nagrody „R&D 100”.

Zalety technologii

  • Bardzo szybkie pomiary – 15 punktów w 21s
  • Prosty w użyciu
  • Solidna automatyka
  • Tańszy w porównaniu z konkurencyjnymi systemami
Model Zakres grubości Zakres długości fali Standardowa wielkość plamki
F80-t 0.015-5 µm 400-800 nm 15 µm