DLS-83D  System spektroskopii głębokich poziomów

DLS-83dSpektroskopia DLTS (ang. Deep Level Transient Spectroscopy) jest najlepszą techniką do monitorowania i charakteryzacji właściwości głębokich poziomów defektowych umyślnie lub nieumyślnie wprowadzonych w materiałach półprzewodnikowych i kompletnych urządzeniach. Jest niezwykle wszechstronną metodą określania wszystkich parametrów związanych z występowaniem głębokich pułapek, poziomów energetycznych i rozkładem koncentracji. Pozwala to na identyfikację domieszek i jest w stanie wykryć stężenia poniżej 109 atomów/cm3.

DLS-83D oferuje w pełni automatyczny pomiar wraz z interpretacją danych pomiarowych, w tym identyfikacje i oznaczanie stężeń domieszek bez konieczności ingerencji użytkownika.

Główne cechy:

  • Najwyższą czułość (109 atoms/cm3) do wykrywania śladowych ilości zanieczyszczeń
  • Interfejs do szerokiego zakresu kriostatów
  • Szeroki zakres trybów pomiaru:
      • skanowanie temperatury
      • częstotliwość skanowania
      • głębokość profilowania
      • charakterystyka C-V
      • uchwycenie przekroju pomiaru
      • wtryski optyczne
      • stała pojemność sprzężenia zwrotnego
      • przewodności przemijającej pomiaru
      • rozkład gęstości – interfejs MOS
  • kontrolowana przez ustawienia analogowe i cyfrowe, aby ułatwić obsługę urządzenia
  • próbka testowa jakości
  • pełna kontrola z szerokim wsparciem oprogramowania, kompletna baza danych bibliotek do dokładnej identyfikacji zanieczyszczeń