DLS-1000  System spektroskopii głębokich poziomów

DLS-83_1Spektroskopia DLTS (ang. Deep Level Transient Spectroscopy) jest najlepszą techniką do monitorowania i charakteryzacji właściwości głębokich poziomów defektowych umyślnie lub nieumyślnie wprowadzonych w materiałach półprzewodnikowych i kompletnych urządzeniach. Jest niezwykle wszechstronną metodą określania wszystkich parametrów związanych z występowaniem głębokich pułapek, poziomów energetycznych i rozkładem koncentracji. Pozwala to na identyfikację domieszek i jest w stanie wykryć stężenia poniżej 2*108 atoms/cm3.

DLS-1000  to ulepszony systemem o bardzo wysokiej czułości.

DLS-1000 oferuje w pełni automatyczny pomiar wraz z interpretacją danych pomiarowych, w tym identyfikacje i oznaczanie stężeń domieszek bez konieczności ingerencji użytkownika.

Główne cechy:

  • Najwyższą czułość (2*108 atoms/cm3) do wykrywania śladowych ilości domieszek
  • Interfejs do szerokiego zakresu kriostatów
  • Szeroki zakres trybów pomiaru:
      • skanowanie temperatury
      • częstotliwość skanowania
      • głębokość profilowania
      • charakterystyka C-V
      • uchwycenie przekroju pomiaru
      • wtryski optyczne
      • stała pojemność sprzężenia zwrotnego
      • przewodności przemijającej pomiaru
      • rozkład gęstości – interfejs MOS
  • kontrola przez ustawienia analogowe i cyfrowe, aby uprościć obsługę urządzenia
  • próbka testowa jakości
  • pełna kontrola z szerokim wsparciem oprogramowania, kompletna baza danych bibliotek do dokładnej identyfikacji zanieczyszczeń