POMIAR GRUBOŚCI POWŁOK

§

Nasza oferta


W dziedzinach pomiar grubości powłok (pomiar grubości warstw) i ich parametrów optycznych posiadamy w ofercie następujące urządzenia:


Producenci



Teoria


Elipsometria jest techniką optyczną do badania właściwości dielektrycznych (kompleksu współczynnika załamania światła lub funkcji dielektrycznej) cienkich warstw. Elipsometria mierzy zmiany polaryzacji w momencie odbicia lub transmitancji i porównuje je do modelu.

Można ją stosować do scharakteryzowania składu, chropowatości, grucić elektrycznej i innych właściwości materiałów. Jest to bardzo czuła na zmiany w odpowiedzi optycznej padającego promieniowania, które oddziałuje z materiałem badanym.

Spektroskopowe elipsometry można znaleźć w większości laboratoriów analitycznych badających cienkie warstwy. Elipsometria staje się również coraz bardziej interesująca dla naukowców z innych dziedzin, takich jak biologia i medycyna. Obszary te stanowią nowe wyzwania dla techniki, takie jak pomiary na powierzchniach niestabilnych płynnych i obrazowania mikroskopowego.

Reflektometry w metodzie pomiarów wykorzystują światło odbite od warstwy, a następnie analizują światło odbite w pewnym zakresie długości fal.

Zarówno elipsometry jak i reflektometry analizują światło odbite w celu określenia grubości i wyznaczenia współczynnika załamania światła przez dielektryki, półprzewodniki i cienkie warstwy metali. Podstawową różnicą pomiędzy tymi dwoma technikami jest to, że elipsometry wykorzystują światło odbite od warstwy pod małym kątem padania, natomiast reflektometry światło, które odbija się prostopadle do warstwy.

Kulotestery to urządzenia do badań grubości powłok pojedynczych i wielowarstwowych w zakresie od 0,1 do 50µm. Powłoka jest usuwana ścierniwem podawanym ręcznie w miejsce kontaktu próbki z obracającą się stalową kulą, która wywiera stały nacisk na próbkę. Za pomocą mikroskopu optycznego odczytuje się parametry wytarcia o kształcie kulistym powłoki i na ich podstawie oblicza grubość powłoki. Proces ścierania można kontrolować poprzez regulację prędkości obrotowej kuli i jej nacisku.

Profilometry optyczne są urządzeniami stosowanymi do pomiaru różnic wysokości (np. chropowatości powierzchni) na powierzchniach, z dużą precyzją, oraz wykorzystaniem fali świetlnej.

Każdy profilometr składa się z co najmniej dwóch części – detektora, oraz miejsca w którym znajduje się próbka (uchwyt). Detektor który określa, gdzie punkty pomiarowe znajdują są na próbce. W systemach można wyróżnić dwa możliwe modele: elementem ruchomym jest detektor lub uchwyt z próbką.